科学研究

研发重点：开展激光与物质相互作用、自由电子激光物理、技术与应用研究。突破新波段光源器件、工艺和系统，并开展相关材料的开发与应用研究。

研发重点：开展高精度复杂光学系统的光学工艺技术模拟仿真、光学系统设计与制造、精密检测相关的新原理新方法新技术研究。

研发重点：开展微纳器件制造的新原理、新方法、新工艺研究。

研发重点：开展微纳计量、三维精细结构无损检测等检测新方法、新手段、新设备研究。